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项目 |
规 格 |
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设备尺寸 |
950*1470*1600mm 白色 |
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设备重量 |
1100KG |
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激光单元 |
UV |
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激光器品牌 |
Huarry |
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激光波长 |
355nm |
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激光等级 |
Class4 |
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激光直径 |
20um |
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激光功率 |
15W/20W/25W |
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激光可变光焦 |
自动Z轴（选配自动对焦） |
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冷却方式 |
水冷 |
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运动方式 |
振镜+平台飞行光路 |
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视觉定位精度 |
±5um |
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基板尺寸（L*W） |
330mm*280mm |
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重复定位精度 |
±3um |
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定位类型 |
CCD+MARK |
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基板厚度 |
≤2mm |
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激光类型 |
UV激光器 |
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激光寿命 |
＞20000小时 |
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激光脉宽 |
＜20ns |
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重复频率 |
50-1500KHz |
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激光输出波动率 |
＜3% |
